等离子腔室
安装在真空腔室中用于镀铝或涂层,可以满足处理材料的速度超过1000米/分钟.特别的设计负极(负极由整块组成)和坚固的结构保证在工作中环境的稳定性.
主要特征
- 宽幅超过 4500 mm
- 腔室为不锈钢材质
- 腔室可打开,便于清洁
- 一组电极 (负极). 电极通过水冷保持恒温. 负极由整块不锈钢组成(没有焊接系统)
- 一组磁铁系统安装在腔室的盖子上,为了调节和巩固薄膜经过区域的等离子
- 一组内收系统安装在薄膜入口处
- 一个真空连接器嵌于等离子腔室和镀铝腔室之间.在大气压力下这个连接器允许进入等离子腔室
