电力工业设备 Lucca - Italy

Mero

真空等离子处理



等离子腔室

产品 & 应用

等离子腔室

安装在真空腔室中用于镀铝或涂层,可以满足处理材料的速度超过1000米/分钟.特别的设计负极(负极由整块组成)和坚固的结构保证在工作中环境的稳定性.

主要特征

  • 宽幅超过 4500 mm
  • 腔室为不锈钢材质
  • 腔室可打开,便于清洁
  • 一组电极 (负极). 电极通过水冷保持恒温. 负极由整块不锈钢组成(没有焊接系统)
  • 一组磁铁系统安装在腔室的盖子上,为了调节和巩固薄膜经过区域的等离子
  • 一组内收系统安装在薄膜入口处
  • 一个真空连接器嵌于等离子腔室和镀铝腔室之间.在大气压力下这个连接器允许进入等离子腔室

等离子腔室 - 01
等离子腔室 - 02

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